パーティクルゲッター®

パーティクル低減のための
ご提案

蒸着、スパッタリングによる成膜では、対象のみならず装置内のマスクやシールドにも粒子が付着します。

付着膜厚が厚くなるにつれ、膜が剥離する危険性が高まり、 剥離片はパーティクルとなります。

PG（Particle Getter）シートは、装置内部に付着した膜の剥離を抑制するべく特殊加工された銅板です。パーティクルゲッター®特有の表面状態、付着膜の応力緩和に優れることにより剥離を抑制し、パーティクルを減少します。

エロージョンエリア比較

PGなし

PG装着後

成膜後の表面比較

成膜前

成膜後

パーティクルゲッター®による
パーティクル対策
詳しい解説を掲載したPDFをダウンロードできます。

※パーティクルゲッター®は、株式会社サンリックの登録商標（第3043952号）です。

PGシートのご案内

付着材料、装置形状、熱等で変化する必要強度や伸びにより、
適切なPGシートの厚さと形状をご提案します。

納品形態

装置内部品への取り付け加工（スポット溶接、ねじ止め、ワイヤー止め、折り曲げ、両面テープ）、
型抜きシート、シートロール、ご要望の納品形態に対応いたします。

お問い合わせ

設計から加工、製造、そして分析、サポートまで一貫して対応できる体制を
整えておりますので、お気軽にご相談ください。