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結晶育成用ルツボ

結晶育成装置用のルツボを12インチ用の大型タイプ、深絞りタイプ、小型装置向けのモノまで使用条件に見合った材質・仕様で製作致します。

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真空蒸着装置用部品

真空装置の各種部品を製作可能です。新規装置部品から既存設備の交換部品まであらゆるニーズにお応えします。改良・改造・設計のご相談にも対応可能です。

特注フランジ、プラネタリドーム、シャッター板、マスク、防着板、電極、消耗部品各種

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ハースライナー

蒸着装置用のハースライナーをオーダーメイドで製作致します。Mo・W・Taの他各種金属やPBN等、使用条件に見合った材質でのご用意が可能です。条件に応じて、切削，プレス，絞り，焼結成型が可能です。

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蒸着材料

蒸着用のペレットやインゴットを各種取り扱っています。量産向けでも多くの実績があります。高純度AL、AL合金、Ni、Ti、Cu、Sn、Cr 等

高純度ALは常時在庫があり即納可能です。

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スパッタリングターゲット

スパッタリングターゲットをご要望に合わせて製作致します。一体型やバッキングプレート付き等各種タイプに対応可能です。

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その他特注品

量産用から実験・評価用まで、1pから製作可能です。製作図面をご提供頂くケースはもちろんのこと、設計・作図のご用命も承ります。

Ta加工品
Ta加工品
Taトレイ
Mo加工品

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製品・材料に関するお問い合わせは: Tel.045-522-8989; Fax.045-522-8993; English; メールでのお問い合わせ

取扱製品（真空装置部品・蒸着材など）

弊社の強みは「一品一葉」。
要望に応じた各種加工に対応可能。

真空装置部品・蒸着材など

お問い合わせ

設計から加工、製造、そして分析、サポートまで一貫して対応できる体制を
整えておりますので、お気軽にご相談ください。

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代表Fax. 045-522-8992

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