パーティクル低減の為のご提案

蒸着、スパッタリングによる成膜では、
対象のみならず装置内のマスクやシールドにも粒子が付着します。

付着膜厚が厚くなるにつれ、膜が剥離する危険性が高まり、
剥離片はパーティクルとなります。

PG(Particle Getter)シートは、
装置内部に付着した膜の剥離を抑制するべく特殊加工された銅板です。

パーティクルゲッター(R)特有の表面状態、付着膜の応力緩和に優れることにより剥離を抑制し、
パーティクルを減少します。


 
PGなし

PGなし

PG装着後

PG装着後

 

エロ−ジョンエリア比較

 
成膜前

成膜前

成膜後

成膜後

 


成膜後の表面比較

 

PGシート

付着材料、装置形状、熱等で変化する必要強度や伸びにより、
適切なPGシートの厚さと形状をご提案します。


70μ エンボス

70μ エンボス

t = 0.22mm
140μ 軟化エンボス

140μ 軟化エンボス

t = 0.57mm
210μ フラット

210μ フラット

t = 0.22mm
210μ エンボス

210μ エンボス

t = 0.85mm

シート・型抜きから取り付け加工まで

装置内部品への取り付け加工(スポット溶接、ねじ止め、ワイヤー止め、折り曲げ、両面テープ)、
型抜きシート、シートロール、ご要望の納品形態に対応いたします。


加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:スポット溶接

加工例:ねじ止め

加工例:ねじ止め

加工例:両面テープ

加工例:両面テープ

シート

シート

型抜きシート

型抜きシート

 
PGGuide

パーティクルゲッター(R)によるパーティクル対策
詳しい解説を掲載したPDFをダウンロードできます。

 
パーティクルゲッター(R)は、株式会社サンリックの登録商標(第3043952号)です。