成膜装置・真空装置の運用サポート

半導体・液晶・メディア・光学等、多様な成膜装置・真空装置の修理・改造・消耗部品製作
スパッタ・蒸着材の提供、パーティクル低減のご提案まで、
運用を多面的にサポートいたします。

部品製作

先端真空技術のノウハウにより、真空装置・機器内の金属およびセラミックス部品を提供します。


スペシャルボート

ハースライナ−

ハースデッキカバー

フィラメント

 

プラネタリードーム

スパッタリング用治具

 
 

スパッタリングターゲット・蒸着材

ご指定の材質、純度、形状にて、スパッタリングターゲットおよび蒸着材を
ご提供いたします。


スパッタリングターゲット

蒸着材料

 

パーティクル低減

当社オリジナルのPG(Particle Getter)シートによるパーティクル低減策をご提案します。

詳しくは


歩留まりの向上

部品交換回数の減少

ダウンタイムの短縮

コスト削減


お客様の声

PG施工によるメリット(一例)

 

「半導体の製品歩留まりが向上した。」

「バイアススパッター分野では、ダストの量が非常に多く、工程が成り立たない状況を改善できた。」

「シールドにブラスト処理等が少なくなり、部品の寿命が延びた。」

「新たなメリットとして、金属回収率が改善した。」